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15B双面研磨抛光机
  产品说明:

  

产品详细介绍

陶瓷密封环双面研磨机主要用途:

本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。

 

陶瓷密封环双面研磨机工作原理特点:

1、创新是设计的基本理念,本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构、控制和功能特点,综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性。

2、采用先进的台湾产PLC程序控制器,控制整机的动作,自动化程度高,并由与之匹配的大屏幕触摸屏作界面,显示当前整机状态,实现人机对话,操作一目了然。

3、    采用变频调速及全齿轮传动,使整机工作时起动平稳、运转稳定,尤其在低速运转时,克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象。

4、    采用亚德克生产的气动执行元件与SMC生产的气动控制元件配套,实现研磨盘分轻压、中压、重压、精研等四个阶段的压力无级调节,为磨削工件提供更出色的研磨效率及更广泛的磨削工艺选择。

5、          大齿圈可以升降,且升降位置可以调节。太阳轮的高度也可以通过定期增减垫片数量进行调节。

6、          减速机用杭州杰牌的,型号是150-20075-30

7、          采用双电机和双变频驱动;产地是无锡亨达高温变频电机。主电机(9KW/1440rpm)带动上、下研磨盘和齿圈;用副电机(1.5KW/1400rpm)带动太阳轮。副电机与主电机按比例同步调速。

8、          配备有自动润滑装备,对齿轮进行润滑。

9、          本设备可设定和存储二十套不同的工艺参数(压力、速度、时间、圈数)供使用者选用。

10、      配有主气缸端锁机构,可方便、安全锁定上研磨盘。

技术参数:

1. 研磨盘尺寸(mm):  φ1118× φ386 ×50
2. 游轮参数:         英制:齿数Z=200  DP=12 α=20°
                      公制:齿数Z=142  m=3   α=20°
3. 游轮数量:         5片
4. 修正轮数量:       4片
5. 最小研磨厚度:     0.50mm/φ125,0.40mm/φ100,
0.35mm/φ75
6. 最大研磨厚度:     30mm
7. 研磨直径及片数     φ75/17片  φ100/8片 φ125/5片
8. 最大研磨直径:     φ350 mm
9. 下研磨盘转速:       0~60rpm
10. 主电机:          11Kw    380V   1460rpm
11. 三相电泵          AB-100   250W  100L/min


三.精度指标
1. 下研盘端面跳动0.08.
2. 上、下研磨盘平面度0.030.(只检查下盘)。
3. 太阳轮径向跳动:0.12.
4. 齿圈径向跳动;0.20.
5. 上、下研磨盘回转中心不重合度≤0.5mm.

四个修正轮精度状况:
6. 厚度一致性:0.008
7. 上下面平面度:0.005
8. 上下面平行度:0.006
9.    整机噪音:    ≤75dB(A)
 

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